Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen : Teilvorhaben: Grundlagen und Technologien zum lokalen Hochrate-Plasmaätzen ; Abschlußbericht

Thumbnail Image
Files
331723573.pdf(6.5 MB)
Date
2000
Authors
Volume
Issue
Journal
Series Titel
Book Title
Publisher
Leipzig : Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Link to publishers version
Abstract

[no abstract available]

Description
Keywords
URI
https://doi.org/10.34657/4748
 https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1087
Citation
Schindler, A. (2000). Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen : Teilvorhaben: Grundlagen und Technologien zum lokalen Hochrate-Plasmaätzen ; Abschlußbericht. Leipzig : Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung.
Collections
Ingenieurwissenschaften
License
This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.
Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.