Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
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2004
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Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
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Güttler, D. (2004). Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung (Version publishedVersion, Vol. 411). Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf.