Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
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Date
2004
Authors
Volume
411
Issue
Journal
Series Titel
Book Title
Publisher
Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
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Abstract
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Description
Keywords
Citation
Güttler, D. (2004). Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung (Vol. 411). Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf.
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