Entwicklung von aktiven und passiven mikrostrukturierten CMOS-Sensoren

Abstract

Das hier beschriebene Projekt wurde im Rahmen des gemeinsamen deutschen CMOS-Verbunds durchgeführt. Ziel des Verbunds ist die Entwicklung von neuen Detektoren basierend auf der CMOSTechnologie für Anwendungen in zukünftigen Experimenten der Teilchenphysik sowie für bildgebende Anwendungen, z.B. in der Medizin. Im Rahmen des Projekts wurden passive Streifensensoren und aktive Pixelsensoren untersucht. Dabei wurden im Labor Strom-Spannungskennlinien der Sensoren gemessen, Sensoren bestrahlt und in Teststrahlmessungen untersucht sowie Simulationen durchgeführt.