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| Title: | Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben |
| Authors: | Schindler, Axel; Hänsel, Thomas |
| Publishers version: | https://doi.org/10.2314/GBV:492017042 |
| URI: | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/970 |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB) |
| Abstract: | [no abstract available] |
| Type: | report; Text |
| Publishing status: | publishedVersion |
| DDC: | 620 |
| License: | This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties. Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. |
| Appears in Collections: | Ingenieurwissenschaften |
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Schindler, Axel and Thomas Hänsel, 2005. Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben. Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)
Schindler, A. and Hänsel, T. (2005) Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben. Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB). doi: https://doi.org/10.2314/GBV:492017042.
Schindler A, Hänsel T. Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben. Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB); 2005.
Schindler, A., & Hänsel, T. (2005). Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben (Version publishedVersion). Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB). https://doi.org/https://doi.org/10.2314/GBV:492017042
Schindler A, Hänsel T. Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben. Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB); 2005. doi:https://doi.org/10.2314/GBV:492017042
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