Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben
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2005
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Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)
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Schindler, A., & Hänsel, T. (2005). Nanometer-Optikkomponenten - NOK, Teilvorhaben: Ionenstrahl- und Plasmabearbeitungstechnologien : Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben (Version publishedVersion). Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB). https://doi.org//10.2314/GBV:492017042