WIR! - GRAVOmer-MOBBS; TP 1.1: Alkalin geätzte Blazegitter

Abstract

Ziel des Projekts war die Entwicklung neuer Herstellungsverfahren für sogenannte Blazegitter auf Silizium. Diese speziellen optischen Strukturen werden in hochpräzisen Anwendungen wie Synchrotronstrahlungsquellen oder spektroskopischen Instrumenten eingesetzt. Im Projekt wurden zwei neuartige, komplementäre Technologien entwickelt:

Ein Verfahren zur Herstellung extrem flacher Blazegitter (sehr kleine Winkel unter 5°), insbesondere für Anwendungen im EUV- und Röntgenbereich Ein Verfahren für steile Blazegitter (Echelle-Gitter) mit großen Winkeln (über 30°), wie sie in hochauflösenden Spektrometern benötigt werden

Beide Ansätze konnten erfolgreich demonstriert werden. Für beide konnte jeweils ein Technologiedemonstrator hergestellt werden, der alle Zielanforderungen erfüllt und eine hohe optische Qualität (u.a. sehr gute Wellenfront und Beugungseffizienz) zeigt. Damit wurde erstmals eine durchgängige Prozesskette gezeigt, die die Herstellung leistungsfähiger Blazegitter auf Silizium ermöglicht - ein wichtiger Schritt für zukünftige industrielle und wissenschaftliche Anwendungen.