Hochempfindliche miniaturisierte thermische Sensorelemente und darauf basierende Messverfahren für Anwendungen in der Vakuum-, Gas- und Inertialsensorik (NEOVAK)

Abstract

Ziel des Vorhabens NEOVAK war es, mit einem einzigen miniaturisierten thermischen Sensorelement den gesamten technischen Vakuumbereich von etwa 10−6 mbar bis Atmosphärendruck zu erfassen. Dadurch sollte die bisher notwendige Kombination von Pirani-Sensoren und Ionisationssensoren ersetzt werden, was Aufbau, Kosten und Komplexität von Vakuummesstechnik deutlich reduziert. Hierzu sollen ein Sensorelement mit aktiver Kompensation parasitärer Wärmeverluste entwickelt werden. Dieser soll mit verschiedenen statischen und dynamischen Messverfahren angesteuert werden, um ihn in Hinsicht auf Sensitivität und Messbereich, aber auch in Reproduzierbarkeit und Unempfindlichkeit gegenüber äußeren Einflüssen (z.B. Umgebungstemperatur) zu untersuchen. Darüber hinaus war geplant, auf derselben technologischen Basis Demonstratoren für thermische Gas- und Inertialsensoren zu realisieren, um das Konzept auf weitere Anwendungen (z. B. Wasserstoff-Gassensorik und Lage-/Bewegungssensorik) zu übertragen.