Verbundvorhaben: PlasCon - Plasmatechnologie für hocheffiziente Solarzellen mit passivierten Kontakten der nächsten Generation; Teilvorhaben: Mikrowellen-basierte Gasaktivierungstechnologie für hocheffiziente Solarzellen mit passivierten Kontakten der nächsten Generation

Abstract

Im Projekt PlasCon wurden plasma basierte Technologien zur kosteneffizienten und ressourcenschonenden Herstellung hocheffizienter Solarzellen der nächsten Generation entwickelt. Ein Schwerpunkt lag auf der Entwicklung und Evaluation von Prozessen für TOPCon und IBC Solarzellen mit Wirkungsgraden bis zu 24 % sowie auf der Reduktion von Prozesskosten durch höhere Gasausnutzung und Abscheideraten. Der Beitrag der MUEGGE GmbH bestand insbesondere in der Entwicklung und Bereitstellung mikrowellenbasierter Gasaktivierungs- und Plasmaquellenkonzepte, die eine gezielte Prozessführung und effiziente Plasmagenerierung ermöglichen. Diese Technologien wurden in PECVD Prozesse integriert und bildeten eine wesentliche Grundlage für die Weiterentwicklung der Plasma Oxidation sowie für die Abscheidung funktionaler Schichten auf großflächigen Wafern. Die im Projekt erzielten Ergebnisse stärken die technologische Position von MUEGGE im Bereich mikrowellenbasierter Plasmasysteme und bilden die Grundlage für die Verwertung in Form von Anlagenkomponenten, Prozesslösungen sowie den Transfer in weiterführende Forschungs und Entwicklungsprojekte.