Verbundprojekt "Großflächige Diamantsubstrate für die Quantentechnologie" (GrodiaQ) - Teilvorhaben Optimierung des (111)-orientierten Diamantwachstums für Quantenbauelemente

Abstract

Ziel dieses Verbundprojekts war es, Anlagen und Prozesse zu entwickeln, um einkristalline, (111)-orientierte Diamantsubstrate in einer ausreichenden Größe und Qualität herstellen zu können, um den Weg für eine industrielle, quantentechnologische Nutzung dieses Materials zu ebnen. Neue Anlagentechnologie mit modernen, speziell dafür entwickelten Halbleiter-Mikrowellengeneratoren wurde konzeptioniert. Substrate bis 4 Zoll (10 cm) Durchmesser wurden demonstriert und erfolgreich bekeimt. Die Weiterverarbeitung solcher Diamanten durch geeignete Politurverfahren und Einbringung funktioneller Schichten für die Nutzbarmachung in Quantenbauelementen wurde parallel dazu erforscht und validiert.