Laserschneiden in Flüssigkeiten zum schnellen und hochqualitativen Vereinzeln von Galliumarsenid-Chips; Teilvorhaben: Grundlagenuntersuchungen zur Ultrakurzpulslaser-Bearbeitung in Flüssigkeiten

Abstract

Die Aufgabe des Lehrstuhls für Laseranwendungstechnik im Projekt LIDRO-GALAS war die Generierung eines tiefgreifenden Prozessverständnis für kritische Teilprozesse des Laserschneidens von Mikrochips in Flüssigkeiten. Dabei sind die Kernelemente die thermische Belastung der Wafer, die Blasenbildung im Schnittspalt während des Prozesses, sowie die damit eng verbundene resultierende Schnittspaltgeometrie. Die Forschungsaufgabe bestand sowohl aus FEM-Simulationen des Prozesses als auch aus experimentellen in-situ und ex-situ Untersuchungen.