Teilvorhaben scia Systems GmbH, Chemnitz: "Prozess- und Anlagentechnik für die Herstellung adaptiver Optiken für die 3 nm Halbleitertechnologie" im Rahmen des Gesamtvorhabens "Pilot-Integration für die 3 nm-Halbleiter-Technologie"
| dc.contributor.author | Bergmann, Patrick | |
| dc.date.accessioned | 2025-07-08T09:33:25Z | |
| dc.date.available | 2025-07-08T09:33:25Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.description.abstract | Datei-Upload durch TIB | ger |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/19311 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/18328 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | scia Systems GmbH | |
| dc.rights.license | Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/ | |
| dc.subject.ddc | 600 | |
| dc.title | Teilvorhaben scia Systems GmbH, Chemnitz: "Prozess- und Anlagentechnik für die Herstellung adaptiver Optiken für die 3 nm Halbleitertechnologie" im Rahmen des Gesamtvorhabens "Pilot-Integration für die 3 nm-Halbleiter-Technologie" | ger |
| dc.title.subtitle | Abschlußbericht | |
| dc.type | Report | |
| dc.type | Text | |
| dcterms.event.date | 1.10.2019-30.4.2023 | |
| dcterms.extent | 22 Seiten | |
| dtf.funding.funder | BMFTR | |
| dtf.funding.program | 16ESE0384S | |
| dtf.funding.program | 01187298 | |
| tib.accessRights | openAccess |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- BMBF16ESE0384S.pdf
- Size:
- 1.69 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description: