Entwicklung einer 2D-MEMS-Scanner basierten 3D-Kamera mit integrierter miniaturisierter Laserquelle - MEMS-BORO

Abstract

Ziel des Verbundvorhabens MEMS-BORO war die Entwicklung eines dreidimensional messenden Boroskops, das mehrere Messmethoden kombiniert und so miniaturisiert ist, dass es für die Inspektion von Flugzeugtriebwerken geeignet ist. Der Einsatz eines miniaturisierten MEMS-Spiegels bildet hierbei die technische Grundlage für die Umsetzung der geplanten Time-of-Flight LiDAR Messungen, der Lasermustertriangulation sowie der Stereotriangulation mit modifzierbaren Mustern. Der Beitrag des Fraunhofer ISIT umfasste dabei insbesondere die Entwicklung und Fabrikation dieses biaxialen, resonanten MEMS-Spiegels mit piezoelektrischem Antrieb und hermetischer Vakuumverkapselung sowie dessen optische Integration mit einer miniaturisierten Laserlichtquelle in einem Boroskopkopf.