Konzentrationsänderungen von Kalium in Gläsern während der Elektronenstrahlmikroanalyse

Abstract

The way in which the intensity of the characteristic x-rays decreases with time has been inv estigated to find the effects of thickness of the evaporated conductive film, electron beam diameter, beam intensity and type of evaporated material. The best working conditions for quantitative microanalysis of silicate glasses can be determined. The processes involved in the change of alkali metal concentration in the region probed are interpreted by a model which also in-cludes the change in the alkali metal intensity.

On étudie la diminution avec le temps de l'intensité du rayonnement X caractéristique émis lors de l'analyse au microsonde électronique et sa relation avec l'épaisseur de la couche du matériau conducteur déposé par évaporation, le diamètre du faisceau d'électrons, la puissance de ce faisceau et la nature du matériau déposé par évaporation. Les résultats expérimentaux permettent de déduire des conditions operatoire qui rendent possible la microanalyse quantitative des verres de silicates. Les phénomènes qui interviennent, lors du changement de concentration des métaux alcalins à l'intérieur du volume irradié de l'échantillon sont expliqués à l'aide d'un modle qui tient également compte de l'augmen-tation d'intensité des métaux alcalins.

Die Intensitätsabnahme der charakteristischen Röntgenstrahlung mit der Zeit bei der Elektronenstrahlmikroanalyse wurde in Abhängigkeit von der Schichtdicke des aufgedampften leitenden Materials, vom Elektronenstrahldurchmesser, von der Elektronenstrahlleistung und von der Art des aufgedampften Materials untersucht. Aus den experimentellen Ergebnissen wurden Arbeitsbedingungen abgeleitet, die es gestatten, auch quantitative Mikroanalysen an Silicatgläsern durchzuführen. Die Vorgänge bei der Konzentrationsänderung der Alkalimetalle im angeregten Probenvolumen werden an Hand eines Modells gedeutet, das auch den Anstieg der Alkalimetallintensitäten mit einbezieht.