Verbundvorhaben: Materials in quantum computing - MATQu; Teilvorhaben: 300mm Silizium Substrate für Quantum Computing

Abstract

Ziel des MATQu-Projekts ist die Validierung von Technologieoptionen zur Herstellung supraleitender Josephson Junctions (SJJs) Qubits auf industriellen 300 mm-Silizium-Prozessflüssen. Das Projekt umfasst Substrattechnologie, supraleitende Metalle, Resonatortechnologie, Through-Wafer-Vias, 3D-Integration und Variabilitätscharakterisierung. Siltronic als globaler Waferhersteller fokussiert sich in seinem Teilvorhaben auf folgende zwei Hauptziele:

300mm Qubit Substrate: Entwicklung, Herstellung und Optimierung von speziellen Hochwiderstand Substratwafer mit 300mm Durchmesser für supraleitende Qubit Technologie Zielgrößen sind hoher Substratwiderstand, niedrige Defektivität und minimierte Kontaminationen (Sauerstoff, Kohlenstoff) Variabilitätskontrolle der Substrate: Verständnis und Korrelation der Variabilität in den Bauelementparametern, den Wafersubstraten und den Prozessschritten, um Lösungen zur Reduzierung dieser Variabilität zu identifizieren

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