Verbundvorhaben SelFi; Teilvorhaben: LECO-Prozess zur Verbesserung der Kontakteigenschaften selektiver Polysilizium Finger, kurz: LECO für SelFi

Abstract

Das Teilvorhaben "LECO für SelFi" der CE Cell Engineering GmbH war Teil des BMWK-geförderten Verbundvorhabens SelFi (7. Energieforschungsprogramm, 09/2022-12/2025) und zielte auf die Weiterentwicklung des laserbasierten LECO-Prozesses (Laser Enhanced Contact Optimization) für TOPCon-Solarzellen mit beidseitig passivierten Kontakten sowie für IBC-Rückkontaktsolarzellen (ZEBRA/PolyZEBRA-Design). Für TOPCon-Zellen wurden optimierte Prozessparameter ermittelt und an den Projektpartner Fraunhofer CSP transferiert. Für IBC-Zellen wurde ein LECO-Labortool mit zwei modular austauschbaren Kontaktierungsmodi entwickelt und am ISC Konstanz in Betrieb genommen; durch iterative Optimierung der Kontaktiereinheit konnte die Prozesswiederholbarkeit deutlich gesteigert werden.