Genauigkeit bei der Grenzflächendetektion von direktschreibenden Laser-Lithographie Systemen durch das Prinzip der optischen Kohärenztomographie - CoherentFocus

Abstract

Das Projekt CoherentFocus hatte zum Ziel, ein alternatives Autofokussystem auf Basis der optischen Kohärenztomographie (OCT) in die Photolithographiemaschine MPO 100 zu integrieren und zu evaluieren. Die Zusammenarbeit erfolgte zwischen dem TC Teisnach Sensorik (TCTS) und der Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (HIMT). Während das TC Teisnach Sensorik für Konzeption, Aufbau und Auswertung des OCT-Systems verantwortlich war, übernahm HIMT die Integrationsplanung, Konstruktion von Adapterteilen sowie den Einbau in die Maschine. Der Projektfortschritt wurde monatlich in digitalen Meetings abgestimmt.