Forschungslabor Mikroelektronik Hamburg für die Co-Integration von Elektronik und Photonik - ForLab HELIOS; Teilvorhaben TUHH

Abstract

Die Aufgaben und Ziele des ForLab HELIOS waren es, die Kompetenzen in der Mikroelektronik, Photonik, Systemintegration, Materialwissenschaft und Nanostrukturierung an der Technischen UniversitätHamburg (TUHH) und der Universität Hamburg (UHH) synergetisch in HELIOS zu bündeln, und die vorhandene technologische Infrastruktur mit zielgerichteten Investitionen im Rahmen der Förderinitiative ForLab - Innovationstreiber Mikroelektronik aus Deutschland zukunftsfähig zu gestalten. Dafür wurde das vernetzte Labor ForLab HELIOS aufgebaut und entlang der gesamten Prozesskette strategisch in Anlagen investiert, die zur Professionalisierung der F&E-Infrastruktur für co-integrierte photonisch-elektronische Systeme beitragen. Neben der Spezifikation, Beschaffung, Installation und Inbetriebnahme der Prozessanlagen und Messgeräte bildete der Nachweis der Funktionalität aller Gerätekomplexe entlang der Prozesskette - einzeln und im Verbund - die technische Hauptaufgabe innerhalb der Projektlaufzeit. Weiterhin stellten die Realisierung einer vernetzten F&E-Infrastruktur zwischen den beiden Verbundpartnern TUHH und UHH im Kern und zu weiteren ForLabs im erweiterten Rahmen die strategischen Ziele des Arbeitsplans dar.