Verbundprojekt: GutenMorgen - Große Wafer und geteilte Zellen - optimierte Prozesse zur Messung, Vereinzelung, Passivierung und Verschaltung von Teil-Zellen; Teilprojekt: Entwicklung der Kantenpassivierung für Teil-Zellen im Industrie-Maßstab

Abstract

Gegenstand des Projektes war die Ausarbeitung eines industrietauglichen Prozesses für die Kantenpassivierung von Zell-Modulen für Wafer-Formate bis M12. Im Projekt wurde eine Anlage konzipiert, die für die Prozessierung von Wafern-Formaten bis M12 (Kantenlänge 210 mm) geeignet war. Es erfolgten die Einbringung der Anlage beim ISE mit Anbindung an die dortige Medien-Versorgung sowie Softwareanpassungen. Der Kanten-Passivierschritt mittels ALD wurde ausgearbeitet und anhand umfangreicher Beschichtungsversuche optimiert. Auch die Aufskalierung auf einen industriellen Schindelhalter und große Mengen wurden erfolgreich umgesetzt. Zudem wurde eine geeignete Prozessüberwachung realisiert. Das Vorhaben wurde erfolgreich abgeschlossen und die Projektziele wurden erreicht. The project focused on developing an industrially viable process for the edge passivation of cell modules for wafer formats up to M12. As part of the project, a system was designed that was suitable for processing wafer formats up to M12 (edge length 210 mm). The system was installed at ISE, including connection to the local media supply, and software adaptations were implemented. The ALD-based edge passivation step was developed and optimized through extensive coating trials. Scaling up to an industrial shingle carrier and high-volume processing was also successfully implemented. In addition, suitable process monitoring was realized. The project was successfully completed and the project objectives were achieved.