Analyse und Modellierung der Einwirkung gepulster Plasmen mit Oberflächen, Teilvorhaben: Grundlegende Gasphasen- und Oberflächenprozesse bei der Wechselwirkung gepulster stickstoffhaltiger Plasmen mit Oberflächen : Schlussbericht

dc.contributor.author	Ohl, Andreas
dc.contributor.author	Finke, Birgit
dc.contributor.author	Schröder, Karsten
dc.date.accessioned	2016-03-24T17:38:02Z
dc.date.available	2019-06-28T07:29:02Z
dc.date.issued	2004
dc.description.abstract	[no abstract available]	eng
dc.description.version	publishedVersion	eng
dc.identifier.uri	https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/993
dc.language.iso	ger	eng
dc.publisher	Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)	eng
dc.relation.doi	https://doi.org/10.2314/GBV:488400309
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dc.subject.ddc	620	eng
dc.title	Analyse und Modellierung der Einwirkung gepulster Plasmen mit Oberflächen, Teilvorhaben: Grundlegende Gasphasen- und Oberflächenprozesse bei der Wechselwirkung gepulster stickstoffhaltiger Plasmen mit Oberflächen : Schlussbericht	eng
dc.type	Report	eng
dc.type	Text	eng
tib.accessRights	openAccess	eng
wgl.contributor	INP	eng
wgl.subject	Ingenieurwissenschaften	eng
wgl.subject	Physik	eng
wgl.type	Report / Forschungsbericht / Arbeitspapier	eng

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