Abschlussbericht der Otto‐von‐Guericke‐Universität Magdeburg zum Teilvorhaben im Verbundprojekt "AlN/GaN‐Epitaxie auf Silizium mittels reaktiven Puls‐Magnetron‐Sputterns" (GaNESIS)
| dc.date.accessioned | 2026-03-05T16:24:12Z | |
| dc.date.available | 2026-03-05T16:24:12Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.description.abstract | Datei-Upload durch TIB | ger |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/32064 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/31133 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg | |
| dc.rights.license | Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/ | |
| dc.subject.ddc | 000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke | |
| dc.title | Abschlussbericht der Otto‐von‐Guericke‐Universität Magdeburg zum Teilvorhaben im Verbundprojekt "AlN/GaN‐Epitaxie auf Silizium mittels reaktiven Puls‐Magnetron‐Sputterns" (GaNESIS) | ger |
| dc.type | Report | |
| dcterms.event.date | 01.10.2019-30.09.2024 | |
| dcterms.extent | 13 Seiten | |
| dtf.funding.funder | BMFTR | |
| dtf.funding.program | 16ES1091 | |
| dtf.funding.verbundnummer | 01199262 | |
| tib.accessRights | openAccess |
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