CZ3003 - Entwicklung einer Czochralski-Anlagentechnologie zur Herstellung von Silizium-Einkristallen mit Einwaagen größer 300 kg und Kristalllängen größer 3m; Teilvorhaben: "Numerische Simulation, Prozessentwicklung und Materialcharakterisierung"
offizieller Abschlussbericht für das Verbundvorhaben
| dc.date.accessioned | 2025-11-19T11:59:25Z | |
| dc.date.available | 2025-11-19T11:59:25Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.abstract | [no abstract available] | ger |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/26320 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/25337 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB | |
| dc.rights.license | Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/ | |
| dc.subject.ddc | 000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke | |
| dc.title | CZ3003 - Entwicklung einer Czochralski-Anlagentechnologie zur Herstellung von Silizium-Einkristallen mit Einwaagen größer 300 kg und Kristalllängen größer 3m; Teilvorhaben: "Numerische Simulation, Prozessentwicklung und Materialcharakterisierung" | ger |
| dc.title.subtitle | offizieller Abschlussbericht für das Verbundvorhaben | |
| dc.type | Report | |
| dcterms.extent | 96 Seiten | |
| dtf.duration | 01.01.2019-31.03.2024 | |
| dtf.funding.funder | BMWE | |
| dtf.funding.program | 0324357A | |
| dtf.funding.verbundnummer | 01185148 | |
| tib.accessRights | openAccess |
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