Sperrwirkung ionenimplantierter Glasoberflächen

Abstract

An handelsüblichem Objektträgerglas wurde der Einfluß der Ionenimplantation auf die Beweglichkeit der Natriumionen im Temperaturbereich 347 bis 404 °C untersucht. Die Ergebnisse zeigen, daß einige Elemente — besonders Arsen, Bor, Blei, Calcium oder Phosphor - die Natriumselbstdiffusion stark hemmen können. Der Grad der Blockierung des Natriumtransports hängt ab von der Energie und der Dosis der eingeschossenen lonenart. Durch Temperung bei Temperaturen > 400 °C wird die Diffusionshemmung weitestgehend abgebaut.