Sperrwirkung ionenimplantierter Glasoberflächen

Abstract

The effect of ion Implantation on the mobility of sodium ions in a commercial microscope slide glass was investigated in the temperature ränge 347 to 404 °C. The results show that several elements, especially arsenic, boron, lead, calcium or phosphorus strongly restrict sodium ion self diffusion. The degree of blocking depends on the energy and the dosage of the implanted ion. Heat treatment at > 400 °C largely reduces the blocking effect. On etudie l'influence de l'implantation d'ions sur la mobilite des ions sodium entre 347 et 404 °C sur une lame porte-objet en verre du commerce. Les resultats montrent que quelques elements - en particulier l'arsenic, le bore, le plomb, le calcium ou le phosphore - peuvent freiner fortement l'autodiffusion du sodium. Le degre de blocage du transport de sodium depend de l'energie et de la dose du type d'ions implantes. Le ralentissement de la diffusion est fortement reduit par recuit à des temperatures egales ou superieures à 400 °C. An handelsüblichem Objektträgerglas wurde der Einfluß der Ionenimplantation auf die Beweglichkeit der Natriumionen im Temperaturbereich 347 bis 404 °C untersucht. Die Ergebnisse zeigen, daß einige Elemente — besonders Arsen, Bor, Blei, Calcium oder Phosphor - die Natriumselbstdiffusion stark hemmen können. Der Grad der Blockierung des Natriumtransports hängt ab von der Energie und der Dosis der eingeschossenen lonenart. Durch Temperung bei Temperaturen > 400 °C wird die Diffusionshemmung weitestgehend abgebaut.