Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen, Teilprojekt IIIa: Charakterisierung und Modellierung lokaler Plasmen : Abschlußbericht
| dc.contributor.author | Foest, R. | |
| dc.contributor.author | Keller, D. | |
| dc.contributor.author | Ohl, A. | |
| dc.date.accessioned | 2016-03-24T17:38:49Z | |
| dc.date.available | 2019-06-28T07:29:15Z | |
| dc.date.issued | 2000 | |
| dc.description.abstract | [no abstract available] | eng |
| dc.description.version | publishedVersion | eng |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/4749 | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1088 | |
| dc.language.iso | ger | eng |
| dc.publisher | Greifswald : Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie | eng |
| dc.rights.license | This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties. | eng |
| dc.rights.license | Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. | ger |
| dc.subject.ddc | 620 | eng |
| dc.title | Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen, Teilprojekt IIIa: Charakterisierung und Modellierung lokaler Plasmen : Abschlußbericht | eng |
| dc.type | Report | eng |
| dc.type | Text | eng |
| tib.accessRights | openAccess | eng |
| wgl.contributor | INP | eng |
| wgl.subject | Ingenieurwissenschaften | eng |
| wgl.type | Report / Forschungsbericht / Arbeitspapier | eng |
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