Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 GermanyPernau, Thomas2025-08-042025-08-042024-08-05https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/20590https://doi.org/10.34657/19607Datei-Upload durch TIBgerhttps://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/600PEVDPECVD von a-Si-SchichtenTOPCon-SchichtenTOPCon SolarzellenAbschlussbericht TOPCon ClusterReport50 SeitenVerbundnamen: Technologiecluster für die industrielle Fertigung von Solarzellen mit Tunneloxid-passivierenden Kontakten : Teilvorhaben: Direkt-Plasma Abscheidung von TOPCon-Schichten