This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.Paa, WolfgangBurkert, Alfons2016-05-032019-06-282014https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1573[no abstract available]ger620Verbundprojekt 1:Technologiebaukasten, Teilprojekt 1.5 - Institut für Photonische Technologien e.V. (IPHT): Methodenentwicklung für Prozessdiagnostik und prozessvorbereitende Maßnahmen für ausgewählte Beschichtungsverfahren : Wachstumskern "J-1013" - Surface Technologies Net ; AbschlussberichtReport