This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.Einfeldt, S.2016-03-242019-06-282013https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1282[no abstract available]ger620Anpassung von Epitaxieprozessen und Entwicklung von Prozessierungsschritten für fokussierbare Strahlquelle bei 360 nm : Projekt-Abschlussbericht ; Projekt FBH 9258 ; Wachstumskern Berlin WideBaSe ; Verbundprojekt 4: Fokussierbare UV-LED Punktstrahlquelle für sensorische Anwendungen, Teilprojekt 4.3: Anpassung von Epitaxieprozessen und Entwicklung von Prozessierungsschritten für fokussierbare Strahlquelle bei 360 nm ; Projektlaufzeit: 01.07.2010 bis 30.06.2013Report