This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.Brandenburg, RonnyHorn, StefanKrohmann, UdoRackow, KristianUhrlandt, DirkWitt, GöranWeltmann, Klaus-Dieter2016-03-242019-06-282011https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1603[no abstract available]ger620Plasma technologyAtmospheric pressure plasmaAtmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition (AP-PECV)Microwave plasmaDielectric barrier dischargeKnowledge transferTechnology transferReport