Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 GermanyMikulla, M.Driad, R.Nair, A.Yassine, M.Waltereit, P.2025-11-252025-11-252024-11https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/27911https://doi.org/10.34657/25695Datei-Upload durch TIBgerhttps://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine WerkeSALSA Ferroelektrizität in ScAlN: Von der Entdeckung des Effekts zu disruptiven Bauelementen im Rahmen von "Forschung für neue Mikroelektronik"; Teilprojekt IAFReport17 SeitenAbschlußbericht