This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.Wietstruck, MatthiasFiebig, NorbertGeßner, Thomas2018-05-092019-06-282014https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1366[no abstract available]ger620Spitzenforschung und Innovation in den Neuen Ländern - Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration zu den Teilvorhaben: NEMS/MEMS-Elektronik-Integration für energieeffiziente Sensorknoten : Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.11.2011 - 31.10.2014Report