This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.Dieses Dokument darf im Rahmen von § 53 UrhG zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, gelesen, gespeichert und ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden.Siche, D.Rost, H.-J.2016-03-242019-06-282001https://doi.org/10.34657/4763https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1128[no abstract available]ger620Verbundprojekt: Untersuchung der Möglichkeiten zur Züchtung von SiC-Einkristallen und zur Bereitstellung von Wafern aus SiC, Teilvorhaben: Aufbau der Anlagenbasis, Kristallzüchtung und Bereitstellung von SiC-Wafern : AbschlußberichtReport