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Abschlussbericht zum BMBF Verbundprojekt: Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration : Anwendung von Nanotechnologien für energieeffiziente Sensorsysteme ; zu den Teilvorhaben: LPB - NEMS/MEMS-Elektronik-Integration für energieeffiziente Sensorknoten ; Berichtszeitraum: 1.11.2009 - 31.10.2012 0

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