Probleme bei Untersuchungen von Glasoberflächen mit der Elektronenspektroskopie zur chemischen Analyse (ESCA)

Abstract

Bei Oberflächenuntersuchungen an Gläsern mit ESCA und lonenätzen werden die Konzentrationstiefenprofile der Alkaliionen systematisch falsch gemessen. Dies wird bei der Analyse von Ultrahochvakuum-Bruchflächen demonstriert und diskutiert. Auch eine Kühlung der Probe oder ein Überwechseln von Argon- auf Heliumionenätzung ändert nichts an den Schwierigkeiten. Trotzdem ist die ESCA-Methode für Relativmessungen geeignet, mit Eichung sind auch quantitative Aussagen möglich. Problems in the investigation of glass surfaces using electron spectroscopy for chemical analysis (ESCA) In investigations of glasses by ESCA and ion beam thinning systematic errors occur in the alkali ion concentration profiles. This is demonstrated by analysis of surfaces fractured in ultra-high vacuum and discussed. Furthermore coohng of the sample and change from argon to helium ion thinning does not affect the difficulties. However, ESCA is suitable for relative measurements and with calibration quantitative results are possible. Problèmes d'études de surfaces de verre par spectrométrie des photoélectrons en vue de l'analyse chimique (ESCA) Lors d'études de surfaces de verre par attaque ionique et ESCA, les mesures des profils de concentration, suivant l'épaisseur, des ions alcalins, sont affectées d'erreurs systématiques. Ceci est démontré et discuté dans le cas de l'analyse de surfaces de rupture dans l'ultravide. Même le remplacement de l'argon par l'hélium dans l'attaque ionique ou un recuit de l'échantillon ne modifient en rien les données du problème. Malgré tout, la méthode ESCA convient pour des mesures relatives et permet également, après étalonnage, d'obtenir des informations quantitatives.