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- ItemGrundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen : Teilvorhaben: Grundlagen und Technologien zum lokalen Hochrate-Plasmaätzen ; Abschlußbericht(Leipzig : Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, 2000) Schindler, Axel[no abstract available]