Verbundprojekt 1:Technologiebaukasten, Teilprojekt 1.5 - Institut für Photonische Technologien e.V. (IPHT): Methodenentwicklung für Prozessdiagnostik und prozessvorbereitende Maßnahmen für ausgewählte Beschichtungsverfahren : Wachstumskern "J-1013" - Surface Technologies Net ; Abschlussbericht