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Type: book × Author: Glitzky, Annegret ×

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    Reaktions-Diffusionsgleichungen in Heterostrukturen mit Anwendungen in der Halbleitertechnologie : Schlußbericht zu einem Vorhaben im BMBF-Förderprogramm Anwendungsorientierte Verbundvorhaben auf dem Gebiet der Mathematik
    (Berlin : Weierstraß-Institut für Angewandte Analysis und Stochastik, 1997) Hünlich, Rolf; Glitzky, Annegret; Röpke, Wilfried
    Im Vorhaben wurden Beitraege zur Modellierung und Simulation relevanter Teilprozesse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen der Nanoelektronik geleistet. Behandelt wurden vorrangig Fragestellungen,die beim Verbundpartner, dem Institut fueur Halbleiterphysik Frankfurt (Oder), zur Entwicklung von SiGe--Heterojunction--Bipolartransistoren von Bedeutung waren. Schwerpunkte bildeten Fragen zur Diffusion von Fremdatomen in verspannten SiGe--Schichten sowie zu Feldeffekten bei der Diffusion elektrisch geladener Teilchen im Hochkonzentrationsfall. Gegenstand der analytischen und numerischen Untersuchungen waren verschiedene Klassen von Elektro-Reaktions-Diffusionsgleichungen in Heterostrukturen, die relevante Aufgaben aus der Halbleitertechnologie auf verschiedenen Niveaus modellieren. Hier wurden neue Aussagen zur globalen Existenz, Einzigkeit und zum asymptotischen Verhalten der Loesungen erhalten.Weiterhin wurden Diskretisierungsschemata, die Konvergenz von Naeherungsverfahren sowie die Reduktion der Modellgleichungen fuer singulaer gestoerte Faelle diskutiert.
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    Electro-reaction-diffusion systems in heterostructures
    (Berlin : Weierstraß-Institut für Angewandte Analysis und Stochastik, 2000) Glitzky, Annegret; Hünlich, Rolf
    The paper is devoted to the mathematical investigation of a general class of electro-reaction-diffusion systems with nonsmooth data which arises in applications to semiconductor technology. Besides of a basic problem, a reduced problem is considered which is obtained if the kinetics of the free carriers is fast. For two dimensional domains we prove a global existence and uniqueness result. In addition, asymptotic properties of solutions are studied. Basic ideas are energy estimates, Moser iteration, regularization techniques and an existence result for electro-diffusion systems with weakly nonlinear volume and boundary source terms which is proved in the paper, too. The relationship between the property that the energy functional decays exponentially in time to its equilibrium value and the existence of global positive lower bounds for the densities of the species is investigated. We illustrate relations between the model and its reduced version in general and for concrete examples. Finally, we discuss the special features of heterostructures for simplified model problems.