Verbundprojekt: Erforschung innovativer nanoelektromechanischer Drucksensoren auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme - ForMikro-NobleNEMS –; Teilvorhaben: Bauelemente und Integration
Sachbericht zum Verwendungsnachweis im Projekt NobleNEMS
| dc.contributor.author | Lemme, Max C. | |
| dc.date.accessioned | 2025-10-21T10:54:19Z | |
| dc.date.available | 2025-10-21T10:54:19Z | |
| dc.date.issued | 2024-10-25 | |
| dc.description.abstract | Datei-Upload durch TIB | ger |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/24937 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/23954 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | RWTH Aachen University, Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente | |
| dc.rights.license | Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/ | |
| dc.subject.ddc | 600 | |
| dc.title | Verbundprojekt: Erforschung innovativer nanoelektromechanischer Drucksensoren auf Basis zweidimensionaler Materialsysteme - ForMikro-NobleNEMS –; Teilvorhaben: Bauelemente und Integration | ger |
| dc.title.subtitle | Sachbericht zum Verwendungsnachweis im Projekt NobleNEMS | |
| dc.type | Report | |
| dcterms.event.date | 01.10.2019-30.03.2024 | |
| dcterms.extent | 18 Seiten | |
| dtf.funding.funder | BMFTR | |
| dtf.funding.program | 16ES1121K | |
| dtf.funding.verbundnummer | 01200382 | |
| tib.accessRights | openAccess |
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