Optische Messung der Zerstörung der Oberfläche von Glas durch Sandstrahlen und Ätzen

Abstract

Mit Hilfe einer speziell hierfür konstruierten Meßapparatur konnte die Lichtstreuung an sandgestrahlten und geätzten Glasproben über acht Dekaden in der Intensität gemessen werden (Streuindikatrix). Eine von DOERBECKER und OEL [1] formulierte Theorie wurde bis zur praktischen Anwendbarkeit weitergeführt. Die quantitative Auswertung der Meßkurven führt auf Formfaktoren, d. h. auf Verhältnisse von Halbmesser zu Tiefe von ellipsoidförmig angenomme-nen Oberflächendefekten. Zur Ergänzung wurden mit dem Rasterelektronenmikroskop Stereoaufnahmen der Oberflächen durchgeführt und quantitativ ausgewertet. Optical measurement of the surface damage of glass by sand-blasting and etching The light scattering of sand-blasted and etched glass specimens was measured, using a specially constructed apparatus, over an intensity range of eight decades (light scattering curve). The theory, which was first formulated by DOERBECKER and OEL [1], was extended to a practical applicability. Quantitative evaluation of the measured curves resulted in form factors which are based upon the radius to depth ratio of surface defects having an assumed ellipsoidal shape. Supplementary information was provided by the quantitative evaluation of stereo photographs of the surfaces taken with the scanning electron microscope. Mesure optique de la détérioration de la surface du verre par sablage et traitement à l'acide Un appareil de mesure (indicateur de diffusion) spéciale-ment construit dans ce but permet de mesurer la diffusion de la lumière correspondant à huit décades d'intensité sur des échantillons de verre sablés et attaqués à l'acide. On fournit une application pratique d'une théorie formulée par DOERBECKER et OEL [1]. L'évaluation quantitative des courbes de mesure livre des facteurs de forme, c'est-à-dire les rapports existant entre le rayon et la profondeur des défauts super-ficiels ellipsoidaux. Des clichés stéréoscopiques des surfaces sont également réalisés ä l'aide d'un microscope électronique à balayage et ces clichés sont évalués quantitativement.