DETEKTIV B und DETEKTIV_Aufstockung - Detaillierte Defektanalyse von EpI-Wafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität
| dc.contributor.author | Weiss, Charlotte | |
| dc.contributor.author | Richter, Armin | |
| dc.contributor.author | Rittmann, Clara | |
| dc.contributor.author | Drießen, Marion | |
| dc.contributor.author | Schindler, Florian | |
| dc.contributor.author | Wimmer, Paul | |
| dc.contributor.author | Kranert, Christian | |
| dc.date.accessioned | 2026-03-03T13:10:57Z | |
| dc.date.available | 2026-03-03T13:10:57Z | |
| dc.date.issued | 2026-03-01 | |
| dc.description.abstract | [no abstract available] | ger |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/31805 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/30874 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE | |
| dc.relation.affiliation | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementtechnologie IISB | |
| dc.rights.license | This document may be downloaded, read, stored and printed for your own use within the limits of § 53 UrhG but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties. | eng |
| dc.rights.license | Es gilt das deutsche Urheberrecht. Das Werk bzw. der Inhalt darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. | ger |
| dc.subject.ddc | 500 | Naturwissenschaften | |
| dc.subject.other | Si-Epitaxiy | ger |
| dc.subject.other | Si EpiWafer | ger |
| dc.subject.other | Porous silicon | eng |
| dc.subject.other | Si crystal defects | eng |
| dc.title | DETEKTIV B und DETEKTIV_Aufstockung - Detaillierte Defektanalyse von EpI-Wafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität | ger |
| dc.type | Report | |
| dcterms.extent | 62 Seiten | |
| dtf.duration | 01.05.2021-31.05.2025 | |
| dtf.funding.funder | BMWE | |
| dtf.funding.program | 03EE1117C | |
| dtf.funding.verbundnummer | 01232565 | |
| tib.accessRights | openAccess |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- Schlussbericht_DETEKTIV_TIB.pdf
- Size:
- 4.57 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description: