DETEKTIV B und DETEKTIV_Aufstockung - Detaillierte Defektanalyse von EpI-Wafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität

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dc.contributor.authorWeiss, Charlotte
dc.contributor.authorRichter, Armin
dc.contributor.authorRittmann, Clara
dc.contributor.authorDrießen, Marion
dc.contributor.authorSchindler, Florian
dc.contributor.authorWimmer, Paul
dc.contributor.authorKranert, Christian
dc.date.accessioned2026-03-03T13:10:57Z
dc.date.available2026-03-03T13:10:57Z
dc.date.issued2026-03-01
dc.description.versionpublishedVersion
dc.identifier.urihttps://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/31805
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/30874
dc.language.isoger
dc.publisherHannover : Technische Informationsbibliothek
dc.relation.affiliationFraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme ISE
dc.relation.affiliationFraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementtechnologie IISB
dc.rights.licenseEs gilt deutsches Urheberrecht. Das Werk bzw. der Inhalt darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden. German copyright law applies. The work or content may be downloaded, consumed, stored or printed for your own use but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.
dc.subject.ddc500 | Naturwissenschaften
dc.subject.otherSi-Epitaxiyger
dc.subject.otherSi EpiWaferger
dc.subject.otherPorous siliconeng
dc.subject.otherSi crystal defectseng
dc.titleDETEKTIV B und DETEKTIV_Aufstockung - Detaillierte Defektanalyse von EpI-Wafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualitätger
dc.typeReport
dcterms.event.date01.05.2021-31.05.2025
dcterms.extent62 Seiten
dtf.funding.funderBMWE
dtf.funding.program03EE1117C
dtf.funding.verbundnummer01232565
tib.accessRightsopenAccess

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Schlussbericht_DETEKTIV_TIB.pdf
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