Leached antireflection surfaces Part 1. Characterization of the neutral solution process

Abstract

The kinetics of the formation of leached antireflective surfaces on borosilicate glasses by the neutral solution process is reviewed. The most important variables were found to be temperature, surface/volume ratio, concentration of network dissolution products in solution, and annealing rate. A pronounced mixed alkali effect was observed, indicating the importance of alkali/proton exchange in the formation of the leached layer.

Die Kinetik der Bhdung von reflexionsmindernden Schichten auf der Oberfläche von Borosilicatglas mit neutralen Lösungen wird betrachtet. Dabei zeigt sich, daß die wichtigsten Prozeßvariablen die Temperatur, der Quotient aus Oberfläche und Lösungsvolumen, die Konzentration der gelösten Netzwerkbildner in der Lösung und die Kühlrate des ausgelaugten Glases sind. Es wurde ein deutlicher Mischalkalieffekt beobachtet, der die Bedeutung des Austausches von Alkaliionen gegen Protonen während der Schichtbhdung erkennen läßt.