Entwicklung eines Herstellungsprozesses für Siliziumkarbid Avalanche Photodioden für die UV-Flammen- und Feuerdetektion - SiC4Flame; in der Fördermaßnahme KMU-innovativ: Produktionsforschung im Programm "Innovationen für die Produktion, Dienstleistung und Arbeit von morgen" des BMFTR

Abstract

Im Rahmen des Projekts soll von sglux und Fraunhofer IISB gemeinsam eine SiC-basierte Avalanche Photodiode (SiC-APD) entwickelt und mittels der Herstellung von Prototypen evaluiert und optimiert werden. Dieses Bauteil weist im Gegensatz zur herkömmlichen SiC-Photodiode eine deutlich höhere Empfindlichkeit auf. Die hohe Sensitivität gegenüber schwacher UV-Strahlung ist für die Anwendung im Bereich der Flammenüberwachung in Heizbrennern und der Feuererkennung nötig. Die APDs ermöglichen somit eine moderne halbleiter-basierte Feuerdetektion, welche die veraltete und kostenintensive Gasentladungsröhren-Technologie ablösen kann. Mit einer solchen APD kann auch der von sglux bisher noch nicht ansprechbare, aber große und attraktive Markt der UV-Feuererkennung und UV-Flammenüberwachung erschlossen werden. Das Fraunhofer IISB soll ein tieferes Verständnis der für die Herstellung der APDs erforderlichen SiC-Prozesstechnologie erlangen, welches eine Optimierung der entsprechenden Prozessfenster sowie der Reproduzierbarkeit ermöglicht. Dadurch soll die allgemeine Prozessfähigkeit im Bereich der SiC-Technologie als Basis für die Wertschöpfung am IISB weiter gefestigt werden.