Quantitative spectrochemical analysis of Na3AIF6, ZrSiO4 and InSb with the analytical electron microscope (TEM & SEM)

Abstract

Eine Reihe zertifizierter natürlicher Mineralien und synthetisierter Zwei- und Mehrelementverbindungen, Kryolith (Na3AIF6), Zirkon (ZrSiO4) und Indiumantimonid (InSb) - teilweise in oxidischer Form vorliegend - wurde nach standardfreier Methodik mittels energiedispersiver Röntgenspektrometrie (EdXS) sowohl im TEM als auch ergänzend bzw. vergleichend im SEM chemisch analysiert. Zur quantitativen Auswertung der Röntgespektren wurden für die Analytik im TEM ein Dünnschichtmodell und für die Analytik im SEM die für dicke Proben übliche ZAF-Korrektur genutzt. Die analytischen Befunde werden bewertet, und es wird unter dem Aspekt der praxisbezogenen Anwendung auf die mit der TEM-Dünnschichtanalytik verbundenen Probleme hingewiesen.