HiPEQ - Hoch-integrierte PIC-basierte ECDLs für die Quantentechnologie; Teilvorhaben: Entwicklung eines Diodenlaser- und Optiksystems für die Züchtung von Isolatorkristallen

Abstract

Im Rahmen des Projektes hat Laserline eine Demonstratoranlage mit 4 Laserline LDM-Systemen und gemeinsamer Steuerung entwickelt. Ergänzt werden die vier Lasersysteme um Lichtleitkabeln und insgesamt acht Bearbeitungsoptiken. Hier sind zwei verschiedene Generationen mit je vier Stück entwickelt worden. Folgende Teilprojektziele sind im Rahmen des Projektes realisiert worden: • Entwicklung einer Laseranlage, welche in Summe vier Lasersysteme vom Typen LDM3000-60 enthält. Mit einer gemeinsamen Steuerung und integriertem Kühlaggregat zu Kühlung der Bearbeitungsoptiken stellt die Laseranlage die Basis für die LOFZ-Anlage beim Projektpartner SurfaceNet dar. • Entwicklung von vier Lichtleitkabeln für den Transfer der Laserleistung in die Bearbeitungsoptiken. • Entwicklung einer ersten Version (V1) einer kompakten Bearbeitungsoptik. Im Resultat wurde ein runder Bearbeitungsspot mit einem Durchmesser von ca. 2mm erzielt. In Summe wurde diese Optikvariante viermal aufgebaut. • Weiterentwicklung der Optikvariante V1 anhand der ersten Prozessergebnisse während der Kristallzucht. Hier wurde eine neuartige Leistungsdichteverteilung entwickelt, welche es ermöglicht bei einer Grundfläche von 5x10mm² die Leistungsdichte entlang der kürzeren Achse zu verstellen.