TRI3DE - Entwicklung eines optimierten Designs einer Röntgenanode zur hochauflösenden Laminographie für den Anwendungsfall einer Nanospot- oder Hochleistungsquelle durch Simulationen und theoretischer Modellierung mit konsekutiver praktischer Verifikation

Sachbericht zur Fördermaßnahme "KMU-innovativ: Elektronik und autonomes Fahren; High Performance Computing" des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) Hochauflösende Röntgen-Inspektion von gestapelten mikroelektronischen Bauelementen : Teilvorhaben II, FHG

dc.contributor.author
dc.date.accessioned2026-04-23T05:47:01Z
dc.date.available2026-04-23T05:47:01Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractIm Rahmen des Teilvorhabens "TRI3DE" wurde die Entwicklung eines optimierten Designs einer Röntgenanode für hochauflösende Röntgen-Laminographie angestrebt. Das Ziel war es, durch umfassende Simulationen und theoretische Modellierungen neuartige Anodenstrukturen zu entwerfen, die eine wesentliche Verbesserung gegenüber dem Stand der Technik darstellen. Datei-Upload durch TIBger
dc.description.versionpublishedVersion
dc.identifier.urihttps://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/35346
dc.identifier.urihttps://doi.org/10.34657/34414
dc.language.isoger
dc.publisherHannover : Technische Informationsbibliothek
dc.relation.affiliationFraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen (IIS)
dc.rights.licenseCreative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany
dc.subject.ddc000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke
dc.titleTRI3DE - Entwicklung eines optimierten Designs einer Röntgenanode zur hochauflösenden Laminographie für den Anwendungsfall einer Nanospot- oder Hochleistungsquelle durch Simulationen und theoretischer Modellierung mit konsekutiver praktischer Verifikationger
dc.title.subtitleSachbericht zur Fördermaßnahme "KMU-innovativ: Elektronik und autonomes Fahren; High Performance Computing" des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) Hochauflösende Röntgen-Inspektion von gestapelten mikroelektronischen Bauelementen : Teilvorhaben II, FHG
dc.typeReport
dcterms.event.date01.07.2022-31.01.2024
dcterms.extent10 Seiten
dtf.funding.funderBMFTR
dtf.funding.program16ME0580
dtf.funding.verbundnummer01250271
tib.accessRightsopenAccess

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