HYDRA - Wasserstoff in Silizium für Solarzellen - Fluch und Segen; Teilvorhaben TP 2: "Einfluss von Wasserstoff auf Volumen- und Schichteigenschaften bei der Solarzellenprozessierung"

Abstract

Dieses Projekt setzte sich zum Ziel, die bislang unbekannten Wirkmechanismen und die Kinetik von H in Si qualitativ und quantitativ zu verstehen, um darauf aufbauend Optimierungsstrategien und geeignete, industriell einsetzbare Schichtsysteme zum Umgang mit H für unterschiedlichste Fragestellungen im Bereich der kristallinen Si-Photovoltaik zu entwickeln. Der Fokus lag auf der Erarbeitung und Bereitstellung von notwendigem Wissen zum Einfluss von H auf auftretende Degradationsphänomene für weitere Projekte mit dem Ziel, unter Arbeitsbedingungen langzeitstabile Hocheffizienz-Solarzellen und -module zu erhalten. Hierfür waren Anpassungen hinsichtlich einer optimalen Prozessführung notwendig, wobei darauf geachtet werden musste, dass bei der Optimierung des H-Haushalts nicht parallel andere gewünschte Eigenschaften der dielektrischen Schichtsysteme negativ beeinflusst werden.