Über Möglichkeiten und Grenzen, Gläser, Nichtleiter und deren Oberflächenbeläge zur elektronenmikroskopischen Analyse durch lonenzerstäubung zu präparieren

Abstract

A method is described how to prepare etched surfaces of glasses and nonconductors, thin sections of even very inhomogenous samples for investigation under transmission type electron-microscope, and transverse cuts of surface coverings by using an ion atomizer. A method for measuring the ion range in thin layers is adopted to estimate the corrosion of the ion etched surfaces and to define the specific energy losses. Results obtained by measuring the specific energy losses and rates of corrosion, combined with a theory of ion atomization by BRANDT and LAUBERT show the limits of applicability of ion atomization in preparing glasses, nonconductors etc. for an electron-microscope-analysis.

On décrit une méthode permettant de réaliser, à l'aide d'une installation de pulvérisation ionique, l'attaque superficielle du verre et de surfaces non conductrices et d'obtenir ainsi des couches minces qu'il est possible d'examiner au microscope électronique par transmission (même lorsqu'il s'agit d'échantillons très inhomogènes) ainsi que des coupes transversales de revêtements superficiels. Une méthode de mesure du parcours des ions dans les couches minces permet d'évaluer le degré de destruction des surfaces soumises à l'attaque ionique et de déterminer les pertes énergétiques spécifiques. A l'aide des résultats de la mesure des pertes d'énergie spécifiques et des vitesses d'enlèvement, il est possible, en se basant sur la théorie de la pulvérisation ionique selon BRANDT et LAUBERT, de déterminer les limites d'application de la méthode par pulvérisation ionique pour la préparation à l'examen au microscope électronique.

Es wird beschrieben, wie mit einer lonenzerstäubungsanlage Glas- und Nichtleiteroberflächen angeätzt und elektronenmikroskopisch in Durchstrahlung untersuchbare dünne Schliffe auch von sehr inhomogenen Proben und Transversalschnitte von Oberflächenbelägen hergestellt werden können. Eine Methode zur Messung der Reichweite von Ionen in dünnen Schichten gestattet es, den Grad der Zerstörung an den ionengeätzten Oberflächen abzuschätzen und die spezifischen Energieverluste zu bestimmen. Mit Ergebnissen aus der Messung der spezifischen Energieverluste und der Messung der Abtragraten ergeben sich aus einer Theorie der lonenzerstäubung nach Brandt und Laubert die Grenzen der Anwendbarkeit der Methode der lonenzerstäubung für die Präparation zur elektronenmikroskopischen Untersuchung.