Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben: Compact optohybrids (CoOp), Teilvorhaben: Ionenätzverfahren für die Strukturierung
Date
2006
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Series Titel
Book Title
Publisher
Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB)
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Citation
Schindler, A. (2006). Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben: Compact optohybrids (CoOp), Teilvorhaben: Ionenätzverfahren für die Strukturierung. Hannover : Technische Informationsbibliothek (TIB). https://doi.org//10.2314/GBV:565283324
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