Herstellung LTCC-integrierter Präzisionswiderstände mittels Mikro-strukturierungsverfahren; Akronym: R-Print; Fördermaßnahme: Innovation & Strukturwandel; WIR!-Bündnis: WIR! GRAVOmer

Abstract

Das Ziel des Projekts "R-Print" war die Entwicklung innovativer Druckverfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen. Speziell ging es darum, durch Reduzierung der Bauhöhe und Fläche sowie durch Verringerung der Widerstandstoleranz auf unter 5 %, neue Designmöglichkeiten für LTCC-Mehrlagenschaltungen mit höherem Miniaturisierungsgrad zu schaffen. Im Zuge dessen sollte der herkömmliche diskontinuierliche Siebdruck durch einen kontinuierlichen Tiefdruckprozess ersetzt werden. Ein weiterer Schwerpunkt lag auf der Entwicklung spezieller Tinten für den Rolle- zu-Rolle-Druck, um präzise und hochauflösende Widerstandsnetzwerke in LTCC-Innenlagen zu ermöglichen. Dies erforderte eine sorgfältige Anpassung der rheologischen und elektrischen Eigenschaften dieser Tinten.