RUBIN: PolyChrome Berlin - Photonische Integrations-Plattform für sensorische und analytische Anwendungen in einem weiten Wellenlängenbereich; Verbundprojekt 2: Funktionsbausteine, Chip- und Aufbautechnologie; Teilprojekt 2.5: Geätzte Facettentechnologie für grüne Wellenlängen
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