Hochtransparente Leitgläser für Flüssigkristallzellen

Abstract

Bei den opto-elektronischen Anzeigen haben in den letzten Jahren Flüssigkristallzellen, insbesondere bei tragbaren Geräten wie Armbanduhren, Taschenrechnern und Meßgeräten, an Bedeutung gewonnen. Gläser mit hochtransparenter elektrisch leitfähiger Beschichtung als An-steuerelektrode sind ein wesentliches Bauelement dieser Zellen. Von hoher Bedeutung ist dabei die Planität des Glassubstrates. Mit maschinellen Ziehverfahren ist es heute möglich, Kalk-Natrongläser mit Dicken bis herab zu 0,55 mm mit höchster Planität ohne nachträgliches Schleifen und Polieren herzustellen, die bei Flüssigkristallzellen Anwendung finden. Als elektrisch leitfähige Beschichtung setzt sich mehr und mehr teiloxidiertes Indium geringer Transparenz mit einer Schichtdicke von etwa 1400 Å durch. Diese Schichten zeichnen sich dadurch aus, daß sie leicht ätz-und kontrollierbar sind und somit eine hohe Produktionssicherheit gewährleisten. Sie werden von den Flüssigkristallherstellern nach Ätzung der Elektrodenkonfiguration thermisch oxidiert. Dabei werden sie hochtransparent. Für die industrielle Beschichtung wurde ein diskontinuierliches Kathodenzerstäubungsverfahren entwickelt, mit dem teiloxidierte Indiumschichten hergestellt werden können.

Highly transparent electrically conducting glasses for liquid crystal cells In recent years the use of liquid crystal cells has become important in opto-electronic instruments, particularly in portable ones like wrist watches, pocket calculators and measuring instruments. Glasses with highly transparent electrically conducting surface films to act as control electrodes are an essential constructional element of these components. The flatness of the glass substrate is of great importance. Modern machine drawing methods allow the production of soda-lime-silica glasses of the high quality with respect to flatness down to 0,55 mm and these may be used in liquid crystal units without subsequent grinding and po-lishing. Electrically conducting films are being increasingly provided by partially oxidized indium, of low transparency, about 140 nm thick. These layers are easily etched and controlled so that a high security in production may be obtained. They may be thermally oxidized, after etching of the electrode configuration, by the liquid crystal cell manufacturer and thus made highly transparent. A discontinuous cathode sputtering process for commercial production of these partially oxidized indium layers has been developed.

Verres conducteurs ä haute transparence pour cellules à cristaux liquides Depuis quelques années, les cellules à cristaux liquides jouent un rôle de plus en plus important dans les dispositifs d'affichage optoélectroniques utilisés en particulier dans les montres-bracelets, les calculatrices de poche et les instruments de mesure. Des verres revêtus d'une couche conductrice de transparence élevée et utilisés comme électrodes de commande constituent un élément essentiel de ces cellules. La planéité du substrat de verre est extrêmement importante. Il est actuellement possible de réaliser par étirage mécanique des verres sodocalciques d'une épaisseur de 0,55 mm, qui présentent une planéité parfaite sans toutefois nécessiter de doucissage ou de polissage ultérieur et qui peuvent être utilisés pour les cellules à cristaux liquides. La couche conductrice est constituée le plus souvent par de l'indium de faible transparence, partiellement oxydé, d'une épaisseur d'environ 1400 Å. Cette couche offre la caractéristique d'être aisément attaquée à l'acide et contrôlée et présente donc une sécurité de fabrication élevée. Aprs le traitement ä l'acide qui lui assure une configuration d'électrode, la couche est ensuite oxydée thermiquement par le fabricant de cristaux liquides. Cette opération lui confère une transparence élevée. On a mis au point un procédé discontinu par pulvérisation cathodique pour le revêtement industriel de couches d'indium partiellement oxydées.