Abschlussbericht zum Vorhaben: Einfluss der Stabilität des Facettenwachstums auf die Entstehung von Kristalldefekten bei der Halbleiterkristallzüchtung (SaFari II)
| dc.contributor.author | Wimmer, Paul | |
| dc.contributor.author | Kranert, Christian | |
| dc.date.accessioned | 2025-11-10T11:39:50Z | |
| dc.date.available | 2025-11-10T11:39:50Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.description.version | publishedVersion | |
| dc.identifier.uri | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/25795 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.34657/24812 | |
| dc.language.iso | ger | |
| dc.publisher | Hannover : Technische Informationsbibliothek | |
| dc.relation.affiliation | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) | |
| dc.rights.license | Creative Commons Attribution-NonDerivs 3.0 Germany | |
| dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/de/ | |
| dc.subject.ddc | 000 | Informatik, Information und Wissen, allgemeine Werke | |
| dc.title | Abschlussbericht zum Vorhaben: Einfluss der Stabilität des Facettenwachstums auf die Entstehung von Kristalldefekten bei der Halbleiterkristallzüchtung (SaFari II) | ger |
| dc.type | Report | |
| dcterms.extent | 38 Seiten | |
| dtf.duration | 01.06.2021-31.05.2024 | |
| dtf.funding.funder | BMWE | |
| dtf.funding.program | 50WM2144 | |
| dtf.funding.verbundnummer | 01233252 | |
| tib.accessRights | openAccess |
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