Beschichtung großflächiger Glasscheiben durch Kathodenzerstäubung

Abstract

Die Beschichtungstechnik mit Hilfe der Kathodenzerstäubung konnte in den letzten Jahren erheblich weiterentwickelt werden und wird inzwischen weltweit mit steigender Tendenz für großflächige Glasbeschichtungen eingesetzt. Die herausragenden Vorteile dieser Technik sind hohe Beschichtungskapazität, hohe Schichtgleichmäßigkeit, sparsamer Beschichtungsmaterialverbrauch und Umweltfreundlichkeit. Es wird ein Überblick über die physikalischen Phänomene der Beschichtung durch Kathodenzerstäubung, die bei großflächiger Beschichtung eingesetzten Kathoden, die Produktionsverfahren sowie die Anwendungsmöglichkeiten der z. Z. eingesetzten Anlagentypen, nämlich halbkontinuierlich arbeitende Durchlaufanlage und chargenweise arbeitende Anlage, gegeben. Coating of large glass panes by cathode sputtering Coating technology has developed considerably in recent years by the use of cathode sputtering which is tending to become used for coating large glass panels throughout the world. The outstanding advantages of this technique are high capacity, good layer uniformity, economical consumption of coating material, and lack of environmental problems. The physical phenomena involved in coating by cathode sputtering, the types of cathode used for coating large flat surfaces, the production process and the possible applications of available types of installation, namely semi-continuous flow systems and batch systems, are discussed. Revêtement de plaques de verre de grande surface par pulvérisation cathodique La technique de revêtement à l'aide de la pulvérisation cathodique a pu être considérablement perfectionnée ces dernières années et elle est maintenant employée dans le monde entier avec une tendance croissante pour les revêtements de verre de grande surface. Les principaux avantages de cette technique sont: une capacité de revêtement et une uniformité de couche élevées, une consommation de matériau de revêtement minime et un caractère non polluant. On donne un apercçu des phénomènes physiques du revêtement par pulvérisation cathodique, des cathodes employées lors d'un revêtement sur une grande surface, des procédés de fabrication, ainsi que des possibilités d'emploi des types d'installation actuellement utilisés, à savoir les installations fonctionnant en semi-continu et celles fonctionnant en discontinu.